美國(guó)Entegris 應(yīng)特格 YY5032PS1 過濾器原裝現(xiàn)貨
?
Wafergard? SG PA/PAL 氣體過濾器提供微粒過濾，設(shè)計(jì)流速范圍高達(dá) 200 slpm*，可最大限度地提高光伏電池和顯示器制造的產(chǎn)量。PTFE 膜和 PFA 支撐濾芯與工藝氣體**以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。
Entegris 為關(guān)鍵材料和加工難題提供解決方案，以最大限度地提高高科技生產(chǎn)率并降低生產(chǎn)成本。我們的過濾、凈化和材料完整性管理產(chǎn)品和技術(shù)為客戶提供了領(lǐng)先的產(chǎn)品性能。
?
材料 濾芯 疏水性 PTFE 膜，由模制 PFA 支撐
O 形圈 PFA O 形圈（僅限 SG PAL）
外殼 電拋光 316L 不銹鋼
顆粒截留率 ≥99.99% (4 LRV)
（以穿透力最強(qiáng)的
穿透力最大的顆粒尺寸）
@ 30 slpm：SG PA
90 slpm：SG PAL
去除率 ≥0.0015 μm
內(nèi)部表面光潔度 ≤25 μin Ra
氦氣泄漏等級(jí) 合格 2 × 10-11 Pa m3
/秒 (2 × 10-10 atm cc/sec)
測(cè)試
/每秒 (1 × 10-8 atm cc/sec)
工作條件 最大工作壓力：
20 兆帕（200 巴，2900 psig）@ 23°C (73°F)
最大正向壓差
0.414 兆帕（4.14 巴，60 psid），溫度為 23°C (73°F)
最大反向壓差
0.069 兆帕（0.69 巴，10 psid），工作溫度為 23°C (73°F)
最高工作溫度：
在惰性氣體中為 120°C (248°F)
額定流量 參見性能數(shù)據(jù)
?
?